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真空金屬鍍膜
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超硬鍍膜
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光學鍍膜
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Plasma treatment
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Vacuum Components
VERA 900
VERA 1400
DREVA LAB 450
ASTA 2800
現有客戶參考資料
表面處理
DREVA
LAB
450
DREVA
LAB
450
的附屬控制器有多項功能，真空條件和鍍膜流程的清晰顯示器，側面式的合併法蘭片
(NW160)
允許附上樣品固定和其他外加設備，多組系統可以被聯結上同一固定架。
Control section
控制部份
DREVA
LAB
450
裝置人機介面系統
RS232
和
485. PC based
控制器也可以依顧客須求搭配。
Technological equipment
技術裝置
旋轉式托盤
抗阻蒸發器
電子束蒸發設備
(3 to 4 kW)
可換式坩鍋
轉動式遮門, 以螺線管操作
底材加熱 (後部)
襯底真空腔體
石英水晶薄膜監視器
沉積流程
濺鍍流程
選配：
乾式蝕刻
PC based
控制器
更多濺鍍來源和其他配件
行星式旋轉驅動 (供
4
個底材)
407
台灣省台中市工業區
36
路
2
號
1F
TEL：886-4-2355-2327
FAX：886-2355-2457
