真空爐體系統已經發展了許多不同尺寸的腔體,加大的真空門尺寸和可替換的旋轉工作台允許靶材與底材在更大的空間做替換,旋轉夾制具和旋轉工作臺的組合甚至確保了複雜的3D物件鍍膜品質的一致性。
高效能真空幫浦系統整合了穩定性佳的全自動控制介面使鍍膜流程更加完善。
在低壓氣體輸出時空心陰極放電可達到高密度的電漿。