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真空金屬鍍膜 |超硬鍍膜 |光學鍍膜 |Plasma treatment |Vacuum Components
 
 
 
DREVA ARC 400
DREVA ARC 600
NEW DREVA 600
TINA 1000
TINA INLINE 4000
 
現有客戶參考資料
 
表面處理
 
 
 
 

DREVAARC 600 是方形雙門式鍍膜系統,專為工具和元件提供耐磨耗鍍膜用。能給予使用者低成本和高效率的大量生產模式 。

每個門配備二個矩形法蘭片作為功能性封鎖,基本型配備在個別門上的四個法蘭片上裝置三組環式的電弧來源幅射加熱器被裝置在第三及第四個功能性封鎖區之間做為一個方形附加的濺鍍來源二個空心陰極電漿來源的整合擴展了此系統的應用潛能另外兩組的電漿來源被整合入此鍍膜系統,可使用作為加熱和電漿蝕刻用途

在電漿來源和真空電弧蒸發的雙重作用下介於鍍膜時程中此作用可有效的達成電漿密度更進一步的增加鍍層品質,在蝕刻與含碳鍍層沉積時電漿來源可被切換為暫停模式而且可在幾秒內被重新啟動空心陰極電漿能源更可以被應用來作為底材鍍膜前的氮化處理 (雙重作用 / duplex processing) 

專利設計的直流電壓供給器 (BIAS to - 1000V) 被整合在系統中所以由電弧蒸發器所產生的傳統Ti-Ion蝕刻可結合空心陰極電漿的Ar-Ion蝕刻因此這樣的設計更可以實現細緻和緊密的蝕刻流程並在很短鍍膜時程內增加鍍膜附著性

內容積 (L x W x H) mm 700 x 850 x 875
渦輪分子真空泵 l/s 2 x 2 500
旋轉台直徑 mm 370
旋轉台裝載容量 kg 100
一次循環時間* min 120 - 180

 
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